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离子溅射仪

发布日期：2025-09-09 浏览量：

负责人：孙蓓蓓 联系电话：15770083868

主要规格及技术指标

样品仓尺寸：120×120mm（高）(4.75x4.75")，高强度不锈钢结构

样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在60mm内调节

溅镀材料：Au/Pt

溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，*电流40mA，程序化数字控制

溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量：真空Atm-0.01mb，电流:0-200A

主要功能及特色

作为扫描电镜的前处理设备，高真空镀膜仪可以用来改善不导电材料的荷电效应，提升扫描电镜的测试质量。

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