负责人：高艳芳 联系电话：18841498751

主要规格及技术指标

仪器主体包含进样腔室、分析腔室；分析腔室能够维持超高真空环境，并预留有与样品台对准的扩展接口，可安装其他激发源等实现多种技术联用；分析腔室配备单色化Al Ka X射线源系统、 能量分析器和探测器、双束荷电中和系统、 全自动五轴样品台、氩离子刻蚀枪以及仪器操控需要的计算机及软件系统。大束斑能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰,能量分辨≤1.0 eV时，光源功率≤100 W条件下，计数率强度≥6 Mcps。微区分析（X射线束斑≤10 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥50 Kcps，分析功率≤1.3W。微区分析（X射线束斑≤10 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥100 Kcps，分析功率≤1.3W。微区分析（ X射线束斑≤20 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥200 Kcps，分析功率≤5W。微区分析（ X射线束斑≤20 µm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤1.0 eV时，计数率强度≥400 Kcps，分析功率≤5W。能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、变角AR-XPS。最小获谱束斑≤ 5.0 µm，无光阑遮挡, X射线功率≤1.3 W，可采谱，成像和深度剖析。

主要功能及特色

1.元素定性分析：功能： 可以检测除氢（H）和氦（He）以外的所有元素。因为每种元素都有其独一无二的特征电子结合能，就像“指纹”一样。

2.元素半定量分析：测量样品表面各元素的相对原子浓度、质量浓度。

3.化学态分析：元素的化学价态、成键情况（氧化态、配位环境）会导致其内层电子的结合能发生微小的位移（称为“化学位移”）。

4.深度剖析：通过结合氩离子溅射（Ar⁺ Etching），可以一层一层地剥离样品表面，并进行XPS分析，从而获得元素和化学态在深度方向上的分布信息。

5.成像分析：通过扫描X射线束或使用特殊探测器，可以获得样品表面特定元素或化学态的空间分布图像。

送样要求：

一、核心原则

1.安全第一：样品必须对人员和仪器是无毒、无放射性、无挥发性、无磁性（注：仪器可测试磁性样品，请提前沟通）。

2.保持真空：样品必须在高真空（最高可达10⁻¹⁰mbar）下稳定，不挥发、不分解、不释放气体。

3.表面代表：待测表面必须能代表您想要研究的状态，且洁净无污染。

二、样品形态与制备要求

1.块体/片状样品

尺寸：是最容易测试的形态。理想尺寸为1cm×1cm左右，厚度不超过18mm。

表面清洁：送样前可用无水乙醇超声清洗、吹干，去除表面的指印、油脂和灰尘。不要用手或金属镊子直接触碰待测表面。

2.粉末样品

1）.取少量粉末装在样品袋中。

2）.涂抹在金属箔/硅片上：将粉末均匀分散在乙醇中，滴在洁净的金属箔（如铜箔、金箔）或硅片上，待溶剂完全挥发干透。确保粉末在真空下不挥发，且不会脱落（脱落的粉末会污染真空室）。

3.薄膜/涂层样品

必须注明：薄膜的材质、大致厚度以及衬底材料。确保薄膜与衬底结合牢固，不会在真空下起皮、脱落。

三、严禁送样的类型

1.挥发性物质：

液体（包括溶液、油、离子液体等）。

易升华固体（如碘、萘等）。

含有溶剂或水分的样品。

原因：会严重破坏仪器的高真空，污染整个真空腔体和探测器。

2.磁性样品：

强磁性物质，如钕铁硼磁铁、铁钴镍块体等。

原因：XPS通过测量电子的能量来分析，磁场会使光电子运动路径发生偏转，导致无法检测到信号或信号严重畸变。

注意：样品中含有铁、钴、镍等元素并不等同于强磁性。很多氧化物、化合物是弱磁性或无磁性的。如果您的样品有磁性，必须提前与测试工程师沟通。

3.有毒与放射性样品：

剧毒、生物毒素、传染性病原体、放射性材料。

原因：对操作人员和实验室环境构成极大安全风险。

四、信息提供要求

送样时请务必提供一份详细的样品信息单，这能帮助测试人员更好地为您服务并获得有效数据。

1.样品基本信息：

样品名称、编号。

样品材质和已知的主要成分。

待测表面的历史处理过程（如抛光、腐蚀、镀膜、退火等）。

2.测试目的与要求：

需要分析哪些元素？（全谱扫描还是特定元素的高分辨谱）

是否需要深度剖析？（如果需要，请说明希望的溅射深度或时间）。

重点关注哪个区域或哪种化学态？（例如，您想特别研究C1s峰的精细结构，还是想确认O1s的峰位）

样品是否有潜在危险？（如毒性、磁性、挥发性，务必如实告知！）

最后，也是最重要的一点：在送样前，务必与您所在测试机构的XPS管理员或工程师进行沟通！他们将提供最具体、最符合其设备要求的指导，避免因样品不合格而耽误您的时间。