负责人：孙蓓蓓 联系电话：15770083868

主要规格及技术指标

1.分辨率：

A.高真空成像分辨率：≤0.7nm @15kV；

≤1.0nm @1kV（非减速模式)；

≤0.8nm @1kV（减速模式)；

≤0.9nm @500V；

≤1.8nm @100V。

B.低真空成像分辨率：

≤1.2nm @15kV；

≤1.8nm @3kV。

C.10mm日常工作距离分辨率：

≤1.0nm @1kV。

2.发射电压：200V至30kV；着陆电压：20V至30kV，配置减速模式。

3.电子束流：1pA ～ 400nA，连续可调，配备电流测量装置。

4.检测器：

样品室内二次电子检测器；

样品室可伸缩式背散射电子检测器；

样品室低真空二次电子检测器；

镜筒内高位二次电子检测器；

镜筒内低位二次电子检测器；

镜筒内背散射电子检测器。

主要功能及特色

1.固体样品的微观形貌、结构，样品的微区元素成份及线分布、面分布；

2.广泛应用于纳米技术、材料、物理、生物、化学、热能、地球科学、环境、光电子等领域，粉末、微粒样品形态的测定；

3.金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物、细胞等材料的显微形貌分析，复合材料界面特性的研究；

4.材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析、材料及电子器件失效分析。

预约及送样要求

1.样品中不得含有铁（Fe）、钴(Co)、镍(Ni)。

2.样品不得具有磁性，并且不易被磁化。

3.样品高度小于10mm。

4.多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理，样品应具有导电性。

5.若样品不导电，需要进行镀金等导电膜的处理（本中心提供镀膜服务，但需要另行收费）。

6.预约时长请根据样本量进行，一般情况下6个以内的样本请按30min/样，进行预约；7个以上按照20min/样进行预约，如预约时间不足，会导致预约时间后将进行下一个预约人的样本检测。